图1是常规CCP水平等离子清洗机的工作原理:通过利用匹配器和直流隔离电容将13.56MHz的射频功率加到高频电极A,油墨附着力多久最佳这里匹配器的作用主要是保护射频电源,以及保证该装置在放电时获得最佳的功耗。在这里值得一提的是:在实际工业应用中,接地电极B的有效面积要大于高频电极A的面积而形成非对称