经等离子表面处理后的表面能较高，附着力和蒸腾拉力可有效地与塑封料结合，减少塑封过程中出现的分裂、针孔等现象。2、氩气可在等离子环境中造成氩离子，并利用材料表面造成的自偏压作用对材料进行溅射，消除在表面吸附的外来分子，并能有效地祛除表面金属氧化物-在微电子过程中，打线前的等离子处理是该工艺的典型代表。
