一、化学反应式为A（g）+B（g）→C（s）+D（g）等离子表面处理过程 等离子清洗机的这一类型的等离子清洗设备的化学反应，如何提高沉积薄膜附着力通常会有两种以上的反应气体参与，产生的等离子体会与固体材料发生化学反应，这一类的具体工艺应用包括等离子增强化学气相沉积即PECVD、等离子溅射和
