使用氩气进行清洁，氩等离子体清洗氩离子以足够的能量照射设备表面以去除污垢。聚合物中聚合物的化学键被分离成小分子，通过真空泵蒸发排出。同时，用氩等离子体清洗后，可以改变材料表面的微观形状，使材料在分子水平上变得“粗”，大大提高了表面活性和水面。氩等离子体的优点是它可以吸收材料表面而不会留下氧化物。缺点
