(2) 将等离子清洗气体引入真空室，氩气等离子清洗机的原理保持压力在 100 帕。不同的清洗剂可选择氧气、氢气、氩气或氮气。 (3)通过在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，使气体分解，通过辉光放电产生电离和等离子体。真空室内产生的等离子完全覆盖待加工工件并开始清洗。通常，清洁过程持续几十秒到
