在这种情况下，氩气等离子体刻石等离子体处理会产生以下效果: 氧化物去除 金属氧化物与处理气体相结合。 该处理应使用氢或氢与氩的混合物。有时候还采用两步处理。首先用氧气将表面氧化5分钟，然后再用氢气和氩气两种方法除去氧化层。还可对多种气体同时进行处理。二、等离子刻蚀 在等离子刻蚀过程中，由于处
