在原子力显微镜(AFM)、扫描电镜(SEM)或透射电镜(TEM)前，氧等离子体蚀刻设备利用氧等离子体去除样品表面的烃类污染物，以获得更好的分辨率和真实的材料结构信息。用于培养生物细胞和生物样本的器皿设备，可通过真空等离子清洗机进行消毒，实现细菌、病毒的低温快速清洗消毒。通过各种材料的表面涂布，达到疏
