那么氧等离子体清洗设备和氩等离子体清洗设备是如何实现有效清洗的呢？1）.氧气在交变电场作用下可电离，氧等离子体清洗设备从而形成大量含氧活性基团，有效去除元件表面的有机污染物，同时吸附元件表面基团，有效提高元件质量组合，如在微电子封装技术中，塑料封装前的等离子体处理也是一个典型的应用。等离子体处理后的
