在这些气体中，济南氧等离子体清洗机氢、氮、氩等惰性气体属于非反应性等离子体，氨、氧等离子体属于反应性等离子体。所谓非反应型，是指等离子体中的自由基和离子不与材料表面发生反应，只起激发自由能的作用，材料与空气接触后需要改变表面化学结构。反应性是指等离子体中的自由基或离子直接与材料表面相互作用，并连接成
