官能团的引入：用N2、NH3、O2、SO2等气体对高分子材料进行等离子体处理，氧等离子体处理氧化硅片改变了表面的化学成分，对应新的官能团（-NH2、-OH、-COOH、-SO3H等）会介绍。这些官能团可以制造聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚四氟乙烯等完全惰性的基材可作为功能性基材，提高表面极性、润湿性、
