但在等离子体清洗过程中，氧化锆的哪个晶型亲水性强由于电极电位或等离子体自偏压的作用，激发产生的离子加速到电路元件和芯片表面，可能导致器件受到离子轰击；身体上的伤害。暴露在等离子体中会造成栅荷电和电应力损伤，紫外线和高能粒子会造成栅氧化层边缘损伤，影响芯片的电性能和长期服役可靠性。然而，键合前等离子体
