特性：适应性强，氧化碲亲水性能比较强吗表面均匀，对硅片损伤小，几乎适用于所有金属，玻璃，塑料等材料。坏处：制图保真不理想，制图极小线难以把握。湿法蚀刻是将蚀刻材料浸入蚀刻液中进行蚀刻的技术。简而言之，就是中学化学课上化学溶液蚀刻的概念，它是一种纯化学蚀刻，具有极好的选择性，刻蚀完当前的薄膜后就停止，
