当更多的能量施加到气态物质上时，氟材料等离子清洗仪比如加热，就会形成等离子体，宇宙中99.99%的物质都会变成等离子体。 3.2 清洗原理：通过化学或物理作用对工件表面进行处理，在分子水平上去除污染物（一般为3-30nm厚），从而提高工件的表面活性，增加。去除的污染物可以是有机物、环氧树脂、光刻胶、
