激发频率为40kHz的等离子体为超声波等离子体，橡胶上喷什么漆附着力强反应为物理反应，清洗系统的离子密度低。等离子体13.56MHz的主体是高频等离子体，等离子体的反应是物理和化学的，离子密度和能量都很高。 2.45GHz等离子体为微波等离子体，离子浓度高，反应为化学反应。励磁频率的分类有三种常用的
