电源通常为1-2KW。较大的可以达到5KW，脱模剂附着力较小的可以达到数百瓦，这比等离子功率要大得多。还有一个40KHz的中频电源，与射频电源正好相反。等离子不是很高，但威力很强。高能量、高高度、大功率，大功率可以跑几十千瓦，理论上几百千瓦。使用时常用于脱模、蚀刻和真空等离子清洗机。中频电源需要加水
