厚度约为几十埃，材料的亲水性与憎水性保护和避免外观。刮。此外，其优异的介电强度和抗氧化性还可以实现优异的绝缘效果。氮化硅的缺点是它的流动性不如氧化物，难以蚀刻。等离子蚀刻可以克服蚀刻的困难。等离子蚀刻机是通过化学或物理或化学的联合作用实现的。化学反应室中的气体电离是指离子、电子和自由基等活性物质的等
