例如，有效制动力矩与附着力矩湿法处理步骤简单易行，但处理结果包括C、O、F等污染物。高温处理可以有效去除C、O等污染物，但处理温度需要进一步优化。后续工艺兼容性较差，等离子处理可以有效去除O和F等污染物，但处理温度和时间不当会导致表面离子损伤，重建SIC表面。 考虑到上述表面处理方法的特点，采用湿法
