在此过程中，材料表面改性分类等离子体还产生高能紫外线，提供能量打破聚合物的键合键，产生表面化学反应。在化学过程中，只有表面上的少数原子层参与，因此聚合物的体积特性可以保持变化形状的可能性。适当选择反应气体和工艺参数可促进特殊聚合物附着体和结构的形成。通常可以选择反应物使等离子体与底物反应以产生挥发性
