光刻机的应用光刻机可广泛应用于微纳流体晶圆加工、微纳光学、微纳光栅、NMEMS器件等微纳结构器件的制备。刻蚀机是狭义的光刻刻蚀，晶圆plasma表面清洗器首先通过光刻对光刻胶进行光刻曝光处理，然后再通过另一种方法进行刻蚀处理，去除需要去除的部分。随着微细加工工艺的发展，蚀刻已成为微细加工的总称，广义
