LCD行业中的ITO玻璃在运送和湿法清洗后，无机物的亲水性和疏水性表面残留的有机溶液和无机颗粒，成为影响IC贴合到ITO玻璃上的主要因素。在等离子清洗应用中，主要是利用低压气体辉光等离子体。一些非聚合性无机气体(Ar、N2、H2、O2等)在高频低压下被激发，产生含有离子、激发态分子，自由基等多种活性
