化合物、沉积条件、后处理技术、清洗方法等因素会明显影响其表面性能，表面改性的方法可分为特别是其表面形貌和化学成分，从而影响ITO膜与有机层之间的界面特性，进而影响器件的光电性能。因此，在使用商用ITO导电玻璃制作器件之前，通常需要采用适当的方法对ITO膜表面进行处理，通过改善其表面电学性能和表面形貌
