反应性等离子气体主要包括O2、N2等化学活性较强的气体, 它们在处理过程中参与反应, 可直接结合到聚合物分子链上, 改变材料表面的化学成分, 提高材料表面活性。机械定位提高了等离子加工精度并减少了背板烧伤。整修前，提高镀层附着力返烧不良品由5个减少到0个，返烧不良品生产减少为零。等离子扫描自动化转换
