在平行于电极的等离子体反应室中，附着力效应被蚀刻电极所放置的面积较小，在这种情况下，等离子体与电极之间会形成一个直流电偏置，而正反应气体离子则会加速撞击被蚀刻材料的表面，离子轰击能极大地加速表面化学反应和反应产物的溶出，正是由于离子轰击的存在才能实现各向异性腐蚀。等离子蚀刻处理材料表面处理，活化，活
