通过相关的表面处理获得烧蚀和堆积率。使用有机蒸气作为工作气体会导致等离子体聚合和聚集。在蚀刻沉积过程中，手机盖板等离子体除胶机器材料表面与等离子体中原始或新形成的成分发生反应。换言之，污染物、聚合抑制剂、阻隔层和气体吸附等表面条件会影响工艺。动力学和沉积膜特性。影响。等离子表面处理工艺在工业相机模块
