3.在真空室内电极与接地装置之间施加高频电压，盖板等离子体蚀刻设备使气体击穿，辉光放电产生等离子体，使真空室内产生的等离子体完全覆盖待处理工件，开始清洗作业。一般清洗处理持续几十秒到几十分钟。4.清洗完毕后，切断电源，通过真空泵抽走气体和气化的污物。。1.液晶显示器液晶显示/触控面板玻璃盖板：LCD
