等离子体处理后铁电体的畴反转损耗角减小的原因可能是由于等离子体对铁电体畴结构的影响。铁电体也不是绝对绝缘体，感应耦合等离子刻蚀机它们在自发板形成或施加电场产生的电场的作用下在其体内感应电荷。在电子的情况下，它们由于高频电场的作用而振动，并与晶格离子碰撞产生位移，从而影响铁电物质的内部结构。高频放电等
