这类装置的关键部件通常被称为等离子体炬，怎样提高达因值其等离子体中心温度高达数千度，是热等离子体。近年来，为了提高对有机材料的粘附性能，如橡胶表面处理，等离子体炬工艺向低温化、小型化发展，变热弧为冷弧，研制出喷涂低温等离子体的真空等离子体设备。此外，怎样提高达因值薄膜电路与玻璃之间的耦合也会因表面张
