此外，提高金属表面附着力为了在等离子表面处理机蚀刻过程中准确地控制表面反应，参与蚀刻的反应粒子需要具有低能量，从而提高整个蚀刻过程的可控性以及精准性。 为了消除以上在传统等离子体蚀刻中的问题，并在等离子表面处理机蚀刻过程中提供低能量粒子，中性粒子束蚀刻技术逐渐被开发出来并获得了一定的发展，与传统的等
