此外，怎么改变材料表面的亲水性同步加速器脉冲可以通过关闭比率以及下一个有效基本路径与子通量的比率来改变等离子体均匀性。周期影响蚀刻。选择性和影响程度与特定的蚀刻气体密切相关。等离子清洗器脉冲蚀刻技术由澳大利亚国立大学等离子研究所的 Boswel 教授于 1985 年报道。近30年来，脉冲刻蚀的研究论
