这种化学过程只涉及材料表面的一个小原子层，原子灰的附着力和硬度聚合物的整体特性可能保持可变形。选择正确的反应气体和工艺参数可以加速独特和特定的反应，形成异常的聚合物沉积物和结构。通常选择反应物以使等离子体与基底材料反应，从而产生挥发性沉积物。被处理材料表面的附着物可以通过真空泵排出以进行解吸，并且可
