它利用能量转换技术，真空蚀刻机原理在一定的真空负压下，通过电能将气体转化为高活性气体等离子体，可以轻柔地冲洗固体样品表面，引起分子结构的变化，从而对样品表面的污染物进行超净。在极短的时间内，通过外置真空泵将污染物完全抽走，其清洁能力可达分子级。在一定条件下，样品的表面特性也可以改变。由于采用气体作为
