同步脉冲台面是两个射频功率速率同步脉冲 8190XT 理论上是微波/射频同步脉冲。一般来说，微波等离子体化学气相沉积装置的工作原理等离子清洗机蚀刻出来的等离子是带负电的，所以在离子-离子等离子状态下，负离子可能会从键中分离出来，中和晶圆表面的正电荷，从而降低电荷储存效果。低电子温度可以减慢解离速率，
