等离子清洗机通常在电场作用下产生气体击穿和导电物理现象称为气体放电。由此产生的电离气体称为气体放电等离子体。气体放电按电场的频率可分为直流放电、低频放电、高频放电、微波放电等类型。等离子体发生器产生高压和高频能量，简述微波等离子CVD法的原理在喷嘴管内通过辉光放电激活和控制使空气电离，产生低温等离子
