RLSA是从空间上利用扩散实现ion-ion等离子体,嘉兴微波等离子厂家报价而Mesa/8190XT则是利用时间(等离子体的开关)来实现的。从机理上讲RLSA电子温度更低,而Mesa/8190XT则增加了两个调节等离子体的手段,即同步脉冲的开关比以及频率。Mesa是两个射频功率同步脉冲,8190XT