同时,微波等离子体和射频等离子体的区别下电极表面鞘消失,可以更好地控制等离子体中的正负离子。 RLSA 使用扩散来实现来自太空的离子离子等离子体,Mesa / 8190XT,这是使用时间来实现的(等离子体开/关)。通常,RLSA 电子温度较低,Mesa / 8190XT 增加了两种调节等离子体的方法