等离子体激发频率分为频率为40kHz的等离子体超声等离子体、频率为13.56MHz的等离子体高频等离子体和频率为2.45GHz的等离子体微波等离子体。超声波等离子的自偏压在0V左右，微波等离子表面活化高频等离子的自偏压在250V左右，微波等离子的自偏压很低，只有几十伏。超声波等离子体产生的反应是物理
