处理后的污染物在很短的时间内被外部真空泵完全抽走,底材附着力比较差怎么办其清洗能力可达分子级。在一定条件下,样品的表面特性也可以改变。由于采用气体作为清洗处理的介质,可有效避免样品的再次污染。等离子清洗机的清洗新技术和新设备逐渐得到开发和应用。它可以不分处理对象处理不同的衬底,无论是金属、半导体、氧