有机物衬底材料取出后，底材附着力比较差怎么处理各向异性的氧化硅蚀刻会去除沟槽顶部、底部的薄膜但在侧壁特别是角落有残留，如果氧化硅/氮化钛选择比低于15∶1，等离子清洗机等离子表面处理机增加蚀刻时间反而会打开底部氮化钛引起严重的衬底材料损失。可是过高选择比的等离子清洗机等离子表面处理机等离子体蚀刻工艺
