与其他电极一样，等离子机清洗机鞘层是在探针周围形成的，其面积通常很小，因此在某些合适的条件下，探针法仅在等离子体中产生少量的局部扰动。下图显示了探头电压和电流的定义。在特定的诊断过程中，探头对地偏置电压为 VB，其中等离子对地电位为 φp。当探针电压Vb=φp时，探针与等离子体处于同电位，探针收集的
