激发态离子碰撞前走过的距离称为离子平均自由距离，射频等离子清洗原理与仓压成反比。物理等离子体清洗要求低压，以便最大限度地提高平均自由距离和最大限度地提高冲击轰击。但如果压降太大，在有效时间内就没有足够的活性离子清洗工件。化学等离子体清洗工艺产生的等离子体与工件表面发生反应，因此离子越多，清洗能力越能
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