通过对等离子清洗工艺的研究，平板显示器等离子体清洗仪提供了参数设定的方法，提高了设备的利用率，节约了运行成本，对生产中的关键设备降低成本、提高效率具有实际参考意义。。介绍了大气压下平板电极纳秒脉冲发射光谱的研究现状，提出了两种获得大气压下大尺度不平衡等离子体的方法。纳秒脉冲放电作为一种更有效的控制放
