...防止相互反应的气体合并。使用时，平板显示器等离子体清洁设备请注意所描述的风向。由于从真空等离子装置的止回阀流入的气体通常是洁净度比较高的工艺气体，所以气体压力调节/处理单元的基本结构主要由压力调节阀和过滤器组成。...真空等离子装置止回阀的主要作用是将气压控制在要求的压力范围内，滤除气体中可能
