当施加高能量时，干蚀刻设备介绍电子离开原子核，物质变成带正电的原子核和带负电的电子等离子体。据日本机械学会等离子体科学技术专家委员会张京教授介绍，看似“神秘”的等离子体并不少见。最常见的等离子体是高温电离气体，例如电弧、霓虹灯和荧光灯。光。气体、闪电、极光等等离子体广泛应用于半导体工业、高分子薄膜、
