3. 在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，工件边缘附着力使气体被击穿，并通过辉光放电而发生等离子化和产生等离子体，让在真空室产生的等离子体完全笼罩住被处理工件，开始清洗作业，一般清洗处理持续几十秒到几十分钟不等。4. 清洗完毕后切断电源，并通过真空泵将气体和气化的污垢抽走排出。。它的主要原理
