用于净化刚性柔性印刷电路板中的微孔的气体是 CF4 和 O2。 CF4和O2进入等离子装置的真空室后，山东等离子表面处理机多少钱CF4和O2气体在等离子发生器的高频高压电场作用下发生解离或相互作用，形成含有游离态的等离子气体气氛。自由基。增加。 ，原子，分子，电子： O2 + CF2 → O + O
