其次，山东真空等离子清洗设备厂家等离子设备有多种杂质来源，例如人体皮肤油脂、细菌、机油、真空油脂、光刻胶和清洁溶剂。此类污染物通常会在晶圆表面形成（有机）薄膜，以防止清洗液到达晶圆表面，从而导致晶圆表面清洗不彻底，从而造成金属杂质等污染物。它是。清洁后。这些污染物的去除通常在清洁过程的第一步中进行，
