由于 90nm 和 65nm / 55nm 器件的关键尺寸要求，山东在线式等离子清洗设备定制基本上不需要刻蚀工艺来减小接触孔的尺寸。如果由于光刻工艺的限制，将逻辑电路的极限降低到45nm/40nm及更先进的工艺技术节点，工艺集成通常需要将蚀刻后的接触孔极限降低1倍左右。... 40nm（尺寸偏差）偏
