光敏聚合物光致抗蚀剂经紫外线曝光后，导电基达因值低怎么改善显影去除照射部分。一旦电路图形在光刻胶上定型，就可以通过蚀刻工艺将该图形复制到具有多晶硅等纹理的衬底薄膜上，从而形成晶体管门电路。同时用铝或铜实现组件间的互连，或用二氧化硅阻断互连路径。蚀刻的作用是将印刷图案高精度地转移到基板上，因此蚀刻工艺
