等离子清洗机常用工作气体除了四氟化碳（CF4），对金属附着力好的树酯有哪些还有：氢气（H2）、氮气（N2）、氧气（O2）、氩气（Ar）等。在等离子清洗过程中很容易对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料等进行反应。其中，物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面，使污染物脱离表面最终被真空泵吸走；化学反应
