芯片也可以使用真空等离子清洁器（生物芯片、微流控芯片和凝胶沉积基板）进行清洁。可以使用真空等离子清洗机来提高粘合剂的粘合性能。提高光学元件、光纤、生物医学材料、航空航天材料等的粘合性能。同时，哪种硅对玻璃有强附着力也可用于涂层。对玻璃、塑料、陶瓷、聚合物等材料进行表面改性和活化，提高表面附着力、润湿
